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作為先進的納米壓印設備，EVG7300紫外光納米壓印機憑借其300毫米晶圓處理能力、300納米級對準精度及模塊化設計，成為半導體、光學元件及生物醫(yī)療領域的關鍵制造工具。本文從設備結(jié)構(gòu)、操作流程、關鍵參數(shù)調(diào)控及維護要點四方面，解析其高效使用的...
1.簡介光學光刻（Opticallithography），也稱為光學平版印刷術或紫外光刻，是在其他處理步驟（例如沉積，蝕刻，摻雜）之前用光刻膠對掩模和樣品進行構(gòu)圖的方法。2.設備（接近式光刻機）2.1HMDS及涂膠1)標準旋轉(zhuǎn)工藝中包括HMDS蒸汽預處理2)烤箱-批量處理多個晶圓3)HMDS也可以在手動旋轉(zhuǎn)器上旋轉(zhuǎn)涂布4）涂膠機上進行光刻膠的涂布2.2對準接觸光刻1)光刻前的對準2)對準器——處理具有對準圖形的晶圓3)EVG610等掩模對準機——尺寸從碎片到12”晶圓4)曝光...
電容式位移傳感器是一種常用的測量裝置，可以實時監(jiān)測物體的位置、形態(tài)和運動狀態(tài)等。但是，在使用電容式位移傳感器時，也存在一些需要注意的問題，以下為詳細介紹：1.靜電干擾：電容式位移傳感器對靜電干擾比較敏感，在使用時應盡可能減少或避免靜電干擾。特別是在干燥環(huán)境下，靜電干擾更加嚴重，會造成誤差的產(chǎn)生。2.靈敏度：本產(chǎn)品的靈敏度較高，因此需要進行相應的校準，以確保其精度和可靠性。校準時應注意傳感器與被測對象之間的距離、介質(zhì)、溫度等因素的影響。3.溫度漂移：溫度變化會導致產(chǎn)品本身的參數(shù)...
粗糙度測定儀的應用表面質(zhì)量的特性是零件非常重要的特性之一，在計量科學中表面質(zhì)量的檢測具有重要的地位。以前人們是用標準樣件或樣塊，通過肉眼觀察或用手觸摸，對表面粗糙度做出定性的綜合評定。目前粗糙度儀主要涉及的行業(yè)領域有：一、非金屬加工制造業(yè)，隨著科技的進步與發(fā)展，越來越多的新型材料應用到加工工藝上，如陶瓷、塑料、聚乙烯，等等，現(xiàn)在有些軸承就是用特殊陶瓷材料加工制作的，還有泵閥等是利用聚乙烯材料加工制成的。這些材料質(zhì)地堅硬，某些應用可以替代金屬材料制作工件，在生產(chǎn)加工過程中也需要...
電容式位移傳感器是一種常用的非接觸式測量設備，用于測量物體的位移、壓力、形變等參數(shù)。它主要由電容傳感器和測量電路組成。目前，電容式位移傳感器在工業(yè)自動化控制、機械加工、汽車行業(yè)等領域得到了廣泛應用。它可以測量各種類型的位移、形變、壓力和負載等參數(shù)，并且具有高精度、高穩(wěn)定性和長壽命等特點。例如，在機械加工中，它可用于檢測機床、刀具、工件等物體的運動狀態(tài)和變形情況，從而實現(xiàn)精密加工。在汽車行業(yè)中，它可以用于測量剎車踏板的位置，以及輪胎和懸掛系統(tǒng)的位移等參數(shù)。其工作原理：電容式位移...
幾家著名的增強現(xiàn)實(AR)公司聯(lián)合起來，加速消費級AR可穿戴設備的發(fā)展。SCHOTT，Inkron，EVGroup（EVG）和WaveOptics展示了全球shou個在玻璃基板上制成的折射率為1.9的波導，以及相匹配的納米結(jié)構(gòu)聚合物——在300毫米晶圓平臺上生產(chǎn)，且可進行批量生產(chǎn)。SCHOTT是國際領仙的科技集團和光學玻璃的發(fā)明者，現(xiàn)推出SCHOTTRealView™高折射率玻璃晶圓，其折射率為1.9，直徑為300mm。這些晶圓是批量生產(chǎn)下一代AR波導的基礎，不僅...